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      新聞資訊
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      萬級無塵室等級標準

      2016/8/29 15:15:10 316 字號: 分享

        依據美國聯邦政府頒布的標準[Federal Standard (FS) 209E, 1992],可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

        如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5?m,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5?m,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。

        例如:10級在0.2?m(塵粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75顆/立方英),1級在0.1?m(塵粒尺寸在0.1?m或更大下,密度不大于35顆/立方英)而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。

        為保持無塵室的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩,下表為無塵室清潔度的定義:

        所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

        由于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

        萬級無塵室靜電的危害

        萬級無塵室靜電庫侖力

        在靜電庫侖力的作用下,吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線寬度約100μm,氧化膜厚度在50μm時,最易使產品報廢?,F在線徑更細,氧化膜很薄,粒徑很小的塵粒子就會損害元器件,這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。

        靜電放電ESD

        萬級無塵室ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖,信號強,相當于電路中幾伏的能量,頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲,可能引起元器件損壞,設備和傳感器不正常工作,甚至引起設備死機。

        ESD引起的EMI還會引發錯誤信號的輸入,或發生鎖存現象。如無塵車間中,將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上,晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車,車輪是絕緣的,則EMI的擴散會引起晶圓片處理機死機。

        電擊人體

        萬級無塵室元器件的絕緣氧化膜被擊穿,引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷,觸摸器件腳時發生ESD,其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達20A(10~100s),不要說高密度,細線徑,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都會遭受損壞。

        一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿,而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。

        造成噪聲、發射電磁波干擾

        人體的ESD或對人體的ESD當超過人體電擊極限電流5mA以上時,人都會有各種傷害感覺,造成工作人員的情緒不安,操作錯誤。

        萬級無塵室凈化原理及技術參數

        萬級無塵室凈化原理及技術參數

        萬級無塵室原理:

        氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→高效送風口→潔凈室→帶走塵埃(細菌) → 回風夾道→新風、初效空氣處理。重復以上過程,即可達到凈化目的。

        萬級無塵室凈化技術參數:

        換氣次數:十萬級10-15次/小時;

        萬級15-25次/小時;

        千級50-52次/小時;

        百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s;

        壓差:主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對非潔凈區≥10Pa;

        溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;

        相對濕度:45-65%(RH);

        噪聲≤65dB(A);

        新風補充量:總送風量的20%-30%;

        照度:≥300Lux。

        萬級無塵室結構材料:

        1.萬級無塵室的墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門,窗采用鋁合金玻璃固定窗。

        2.地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

        3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫


      滬公網安備 31010602005149號


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